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API激光干涉儀原理信息

更新時(shí)間:2025-08-20   點(diǎn)擊次數(shù):201次

XD Laser的核心技術(shù)基于激光干涉測(cè)量原理,采用穩(wěn)定的單頻氦氖激光源,可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的測(cè)量分辨率。其顯著特點(diǎn)是集成了六維空間誤差同步測(cè)量能力,即在一次裝機(jī)過(guò)程中,即可同時(shí)測(cè)量線性位移、兩個(gè)方向的俯仰與偏擺角度、垂直度、直線度(水平與垂直)以及滾轉(zhuǎn)角,全面評(píng)估設(shè)備在三維空間內(nèi)的幾何精度。這極大地提高了檢測(cè)效率,減少了傳統(tǒng)多設(shè)備、多步驟測(cè)量帶來(lái)的累積誤差和時(shí)間成本。

該系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì),主要由激光發(fā)射單元、高靈敏度探測(cè)器、環(huán)境傳感器(實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度、氣壓、濕度對(duì)光速的影響)、六維反射鏡組件及專業(yè)分析軟件構(gòu)成。其無(wú)線通信技術(shù)簡(jiǎn)化了現(xiàn)場(chǎng)布線,增強(qiáng)了操作靈活性。配套軟件界面直觀,能自動(dòng)生成符合ISO等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的詳細(xì)分析報(bào)告,為設(shè)備的精度診斷、優(yōu)化調(diào)整和預(yù)防性維護(hù)提供科學(xué)依據(jù)


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